MOCVD涂層石墨盤

  • ●產品概述
      SIC 涂層石磨基座具有耐高溫、抗氧化、純度高和耐酸堿鹽及有機試劑等特性,物理化學性能穩定。與高純度石墨相比較,高純石墨在400℃時開始發生強烈氧化,即 使溫度不高,長期應用也會因氧化而掉粉末,會依附工件和臺面或污染使用環境,因此SIC涂層石墨基座作為一種新耗材MOCVD設備、粉末燒結等工序上逐 漸代替高純石墨。
    ● 主要特點:
    1.高溫抗氧化:抗氧化,溫度高達1600℃時抗氧化性能仍然非常好;
    2.純度高:高溫氯化條件下化學氣相沉積方法制得的;
    3.耐沖刷:硬度高、表面致密、顆粒細;
    4.抗腐蝕性:耐酸、堿、鹽及有機試劑;
    5.SIC表面層為β-碳化硅,屬面心立方。
      主要參數

    性能

    單位

    數值

    表觀密度

    g/cm3

    3.15-3.20

    莫氏硬度

    -

    9.5

    晶格常數

    nm

    α 0.434

    熱傳導率

    W/m.K

    80

    熱膨脹率

    10-6-1

    4.8×10-6

    ●產品應用:
      外延生長用的石墨基座涂層(包括Veeco,AIXTRON,Thomas Swan)。
    ●聯系方式:
       0534-2129266
    *公司網址:www.guojingxincai.com

INDUSTRIAL LAYOUT

產業布局

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